1、低真空：1×105 ～1×102Pa。

2、中真空：1×102~1×10-1Pa。

3、高真空：1×10-1～1×10-5Pa。

4、超高真空：1×10-5～1×10-9 Pa。

5、極高真空：1×10-9Pa以下。

  圖13即是該真空系統(tǒng),擴散泵串聯(lián)兩個液氮冷阱,而且真空室和冷阱6能耐400～450℃的烘烤。在此溫度下,可以清除真空室壁及冷阱壁上吸附的氣體及凝結(jié)的泵油。該系統(tǒng)一般可以得到1.33×10-7Pa的極限真空度。

1.真空室2.熱偶真空計3.B-A真空計4.放氣閥5.超高真空閥6,7.冷阱8.電離真空計9.擴散泵10.前級管道閥11.前級阱12.電磁閥13.機械泵14.超高真空管道閥15.烘烤裝置

圖13 油擴散泵超高真空系統(tǒng)

2.渦輪分子泵串聯(lián)機械泵的真空系統(tǒng)

       圖14為該系統(tǒng)。此系統(tǒng)不烘烤可以獲得10-6Pa的真空度,烘烤后的真空度可以達(dá)到10-8Pa。該系統(tǒng)的特點是比較清潔,可構(gòu)成無油超高真空系統(tǒng)。

3.濺射離子泵無油超高真空系統(tǒng)

     圖15為該系統(tǒng)原理圖。以濺射離子泵為主泵,使用兩個分子篩泵做預(yù)抽泵,其中一個分子篩泵用來抽走真空室和濺射離子泵中的大氣壓下的氣體,另一個用來抽走烘烤及離子泵啟動時放出來的氣體。

      用低溫泵做為主泵,并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵(做預(yù)抽真空泵)。該真空系統(tǒng)也可以用機械泵做為預(yù)真空泵,但必須在機械泵的入口管路上設(shè)置油蒸汽捕集器。

 1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵 4.鈦升華泵 5.超高真空閥 6.放氣閥 7.高真空閥 8.分子篩泵 9.吸附阱 10.機械泵

圖16 無油超高真空鍍膜機真空系統(tǒng)原理圖

1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵-鈦升華泵組 4.超高真空閘閥 5.冷阱 6.擴散泵 7.前級管道閥 8.超高真空管道閥 9.放氣閥 10.機械真空泵

圖17 組合超高真空系統(tǒng)